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철기록물 상세정보
| 철 제목 | (NRL) 자기제어화학반응을 이용한<10nm수준의 Si반도체용박막증착기술 (KAIST) | ||
|---|---|---|---|
| 생산기관 | 과학기술부 기초연구국 원천기술개발과 | 관리번호 | DA0868865 |
| 생산연도 | 2000년 | 종료연도 | 2000년 |
| 기록물철분류번호 | 1350136999999992000000173001 | ||
| 기록물형태 | 일반문서 | 기록물유형 | 일반기록물 |
| 보존기간 | 30년 | ||
| 서고정보 | 성남 나라기록관 | ||
기록물 건
기록물 건 1건
| 건 제목 |
|---|
| (NRL) 자기제어화학반응을 이용한<10nm수준의 Si반도체용박막증착기술 (KAIST) |
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